新光電気工業 半導体「上流」活況に対応 「セラミック静電チャック」増産へ〈磨く持ち味〉

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白い表面にウエハーを固定するセラミック静電チャック

 新光電気工業(長野市)は、世界的な需要の高まりを背景に、半導体製造装置に搭載する「セラミック静電チャック」の増産に乗り出す。同社の主力はCPU(中央演算処理装置)やメモリー用のパッケージだが、半導体の生産工程の…

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