タカノと長野県工業技術総合センター、先端半導体向けの微細な針開発
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タカノ(上伊那郡宮田村)と県工業技術総合センター精密・電子・航空技術部門(岡谷市)は2日、先端半導体の検査に用いるプローブ(微細な針)を共同開発したと発表した。半導体デバイスの高集積化に対応し、プローブを20マイクロメートル(1マイクロメートル=千分の1ミリ)以下の間隔で高精度に並べる技術を実現。…
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タカノ(上伊那郡宮田村)と県工業技術総合センター精密・電子・航空技術部門(岡谷市)は2日、先端半導体の検査に用いるプローブ(微細な針)を共同開発したと発表した。半導体デバイスの高集積化に対応し、プローブを20マイクロメートル(1マイクロメートル=千分の1ミリ)以下の間隔で高精度に並べる技術を実現。…